ISO 14644-8:2013
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 8. Классификация чистоты воздуха по концентрации химических загрязнений

 

30 страниц

Опубликован 18.02.2013

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration (ACC)